如何提升潔淨室工程（chéng）的質（zhì）量

      大部分（fèn）潔淨室（shì）工程房尤其電子工業用（yòng）的潔淨廠房都有（yǒu）嚴格的恒溫、恒（héng）濕的要求，不僅（jǐn）對廠房內的溫、濕度（dù）有嚴格的要求，而且對溫度和相對濕度的波動範圍也有嚴格的要求。因此，在淨化空調係統的空氣處理上要采（cǎi）取相應的措（cuò）施，例如：夏季要降溫、去濕（因為（wéi）夏季室（shì）外空氣是高溫、高濕的），冬季要加熱加（jiā）濕（因為冬季（jì）室外空氣是寒冷幹燥的，室內濕度過低會產生靜電，靜電對（duì）電子產品（pǐn）的（de）生產（chǎn）是（shì）致命的）。
    對於淨化空調係統的加濕問題而言，常用的加濕方法有很多種，有淋水、濕膜、高壓噴霧超聲波等水加濕，這些加濕方法屬等焓加濕過程。而噴蒸汽（qì）、噴幹蒸汽和電極（電熱）加（jiā）濕是向（xiàng）空調送風中噴（pēn）蒸汽，其加濕方法屬等溫加濕（shī）過程。
      從確保潔淨室內相（xiàng）對濕度的精度而（ér）言，上述的淋（lín）水、高壓噴（pēn）霧、濕膜等水加濕方法其控製的精度（dù）不（bú）高，故當潔淨室內相對濕度精度要求≤±10%時最好（hǎo）不采用。而采用噴（pēn）幹蒸汽和電熱（電極）式加濕的方法。噴幹蒸汽的加濕方法要注意幹蒸汽加（jiā）濕器有一個（gè）噴蒸汽效率（lǜ）的（de）問題，並非噴入空調箱內的蒸汽全部加入到空調送風中，而其中有一部分變成凝結水排放出來（lái）。因此（cǐ），選擇（zé）幹蒸汽加濕的加濕量時（shí）應考慮其噴蒸的效率。有（yǒu）的（de）廠家給出的噴蒸效率為70%。
      各種不同的加濕器的應用範圍不同：如：淋（lín）水、濕膜、高壓噴霧等水加濕器，其特點是加（jiā）濕量（liàng）大、投資費（fèi）用低，而相對濕度控製精度較（jiào）差，因此（cǐ）多用於相對濕（shī）度要求不嚴格（gé）（> ±10%），加濕量很大的工業廠房和一般舒（shū）適用空調（diào）房間的空（kōng）調係統加濕。而相對濕度控製精度高的幹蒸汽加濕和電極（電熱）式加濕因投資較高則多用在相對（duì）濕度精度要求嚴格的恒溫恒濕（shī）潔淨室的空調係統加濕中。
對於以微（wēi）生物（wù）為控製對象的生物潔淨室（例（lì）如：生物製藥、潔淨手（shǒu）術室、無菌室、生物安全（quán）實驗室、實驗無菌動物飼養室等）其重點要控（kòng）製微生物的產生和傳播，因為潮濕和水（shuǐ）分（fèn）是（shì）微生物滋生和繁殖的條件，因此水加濕的淋（lín）水、濕膜、高壓噴霧等方法不（bú）能用在生物潔淨室中，隻能采（cǎi）用幹蒸汽加濕和電極（電熱）式加濕。
      還有一個值得注意的問題（tí）是，近些年（nián）來我國南方如佛山、廣州以及華東的上海、蘇州（zhōu）等地（dì）冬季室外空氣相對濕度較“規（guī）範（fàn）”給（gěi）出的室外空調（diào）計算相（xiàng）對濕度要低，例如：冬季室外計算相對濕度佛山無塵室、廣州均為70%，上海和蘇州為75%，而這些年實測的室外相對濕度有（yǒu）時隻有30%左右，因此，建起來運行的潔淨（jìng）室（shì）的加濕量（liàng）不（bú）足（zú），室內相對濕度偏低，達不到設計要求（qiú）。有的工廠為了簡便和省錢，在原空（kōng）調器內增加濕（shī）膜或噴霧進行加濕（shī）以加大加濕量。但（dàn）是，事與願違，不但加不進去（qù）濕量而且加進去的還會（huì）很快飽和變為凝結水析出來，而達（dá）不到（dào）加濕目（mù）的。因為，濕膜和（hé）高壓噴霧屬等焓加濕過程，加濕前（qián）的空調空氣必須加熱到一定溫度後再加濕（shī）才（cái）能達到加濕（shī）目的。如果不（bú）進行加（jiā）熱是不可行的。
在加濕問題上還有一個應注意的問題就是空調器內空氣流動帶水的問題。有的工程中（zhōng）由於（yú）加（jiā）濕（shī）的帶水問題沒有處理好（hǎo），結果後麵的中效過濾器甚至      高效過濾器都被攜帶的水打濕了。對於幹蒸汽加濕器也要注意蒸汽管和凝結水管的坡度和坡向問題，要使凝結水迅速（sù）地排到空調器外。若加濕器設在空調器的風機段內，還應采取措施避免凝結水滴到電機上，造成電機短路斷電。
      光學（xué）微電（diàn）子淨化工程-潔淨車間技術解決方案
      光學微電（diàn）子淨化工程之定義為將一定空間範圍（wéi）內之空氣中的微塵粒子、有害空氣、細菌等之汙染物排除，並將室內之（zhī）溫濕度、潔淨度、室內壓力、氣流速度與氣流分布、噪音震動及照明、靜電控製在某一需求範圍內，而所（suǒ）給於特別（bié）設計之（zhī）密閉空間。
      光學微電子淨化工程亦名無塵室或清淨室，已是半導體、精密製造、液晶製造（zào）、光學製造、線路板製造和生物化學、醫藥（yào）、食（shí）品製造等行業不可或缺的重要設施。近幾（jǐ）年來，由於技術之創新發展（zhǎn），對於產品的高精密度化、細小型化之需（xū）求更（gèng）為迫切，如超大型積體（tǐ）電（diàn）路之研究製造，已（yǐ）成為世界各國（guó）在科技發展上極為重（chóng）視的項目，而（ér）我公司的設計理念及施工技術在行業中則處於領（lǐng）先（xiān）地位（wèi）。
光學（xué）微（wēi）電子淨（jìng）化工程一般包括：
1、 潔淨生產區
2、 潔淨輔（fǔ）助（zhù）間（包括人員淨化用房、物料淨化用室（shì）和部分生活用室等）
3、 管理區（包括辦公、值班、管理和休息）
4、 設（shè）備區（包括淨化（huà）空調係（xì）統應用（yòng）、電氣用房、高純水和（hé）高純氣用房、冷（lěng）熱設備用房（fáng））
 材料
1. 淨化廠房牆、頂板材一般多采用50mm厚的夾（jiá）芯彩鋼板製造，其特點為美（měi）觀、剛性強。圓弧牆 角、門、窗框等一般采用專用氧（yǎng）化（huà）鋁（lǚ）型材製造。
2.地麵可采用環氧自流坪地坪或（huò）高級耐磨塑料地板，有（yǒu）防（fáng）靜電要求的，可選用防靜電型。
3.送回風（fēng）管道用熱渡鋅板製成，貼淨化保溫效果好的阻燃型PF發泡塑膠板。
4.高效送風口用不鏽鋼框架，美觀（guān）清（qīng）潔，衝孔（kǒng）網（wǎng）板用烤漆鋁板，不生鏽不粘塵，宜清潔。
光學微電子淨化工程解決（jué）方案:
      淨化工程的（de）設計過程中，應加強對光學微電子行（háng）業淨（jìng）化工程設計方案分析了（le）解,根據該工程（chéng）是（shì）新建工程或者是舊廠房改造工程，並結合其具體的生產工藝（yì）、生產流（liú）程等要求確定其需要的潔淨度、溫濕度。再根據該工程（chéng）的具體情況，同（tóng）時還要考慮到生產廠（chǎng）家的經濟承受能力，綜合各種因素來確定采用何種淨化方案，這樣才可（kě）設計出一（yī）個能滿足甲方生產使用要求、工程造價合理、經濟節能實用的方案。
1、組合式空氣處理（lǐ）機組+冷水機組+高效送（sòng）風口
這是一個最傳統的淨化空調係統的（de）設計方案。組合式空氣處理（lǐ）機組裏含有各種（zhǒng）功能段，如混合段、初效過濾段、表冷（lěng）段、二次回風段(或（huò）中間段（duàn）)、加熱段、加濕段、中效過濾段、風機段等（děng）。其冷源由（yóu）冷水機組提供。
優點：
A.空氣處理效果好，因空氣經過集中處理，在送風過程中被（bèi）汙（wū）染程度較低。送風的溫度、濕度的（de）控製比較精確;
B.比較（jiào）適用於有集中冷源的或是較大的廠房;
C.空調冷熱源可與（yǔ）廠房普通（tōng）空調係統合用或獨立冷熱源;
D.維修頻率較低;
E.車間的噪音低。
缺點：
A.需要有配套的冷凍機房或有放（fàng）置熱泵機組的（de）室外空間。另需要有放置組合（hé）式空（kōng）氣處理（lǐ）機組的空調機房，如25000m3/h的組合式（shì）空氣處理機組，常用外形尺寸為6450×1850×2250mm左右。對於舊廠房改造項（xiàng）目來說比較困難（nán）空出一個20-30┫的機房的;
B.造價高。
特點：
A.建議新風經過集中處理後再與回風混合，這樣（yàng）可以減少表冷段的冷處（chù）理負擔;
B.這類方案一般可以適用（yòng）潔淨度較（jiào）高的如百級、千級或萬（wàn）級、十萬級等較低的淨化無塵（chén）廠（chǎng）房。
2、光學微（wēi）電子行業（yè）淨化工（gōng）程設計方（fāng）案分析之水冷櫃（guì）機+增壓風（fēng）櫃（guì）+高效送風口
與前種方案比較，這是（shì）相對比較簡單的空調方案。它可以大大（dà）地縮小機房的麵積，水冷櫃機可以根據具體的情況布置於較小機房內或淨化車間內，增壓風櫃（guì）也可（kě）以布置於（yú）機房（fáng）內或吊在（zài）機（jī）房內或在夾層內。
優點：
A.空氣處理效果較好的，處理過（guò）後的空氣（qì）在送風（fēng）過程中被（bèi）汙染程度低。送風的溫度、濕度控製效果可以達到較好的控（kòng）製。主（zhǔ）要在空氣處理機組(增壓風櫃)裏（lǐ）進行控製;
B.布置靈（líng）活。自帶冷源;
C.大小廠房、新舊廠房都適用;
D.維修頻率較低;
E.車間噪音低。
缺點：
A.需要小麵積的機房。需（xū）要有冷卻塔 [1]  、冷卻水泵的擺放（fàng）位置;
B.空調機組與空調處理機組要集中布（bù）置;
C.造（zào）價較低。特點：這種方案（àn）可以是一次回風也可以是二次回風，具體根據車（chē）間的大小情況而定;這類方案一般可以適（shì）用（yòng）於潔淨度（dù）為千級、萬級、十（shí）萬級等的淨化無塵廠房。
3、光學微電子行業（yè）淨化工（gōng）程設計方案分析之分體空調（diào）櫃（guì）機++FFU送風口
這是最簡易的一個空調方案。是直接將分體空調櫃機布置於車間內，並用彩鋼圍護起來，在櫃機回風口處再在彩鋼板上開回風口(帶（dài）初效過濾網);KLC風機過濾單元FFU均勻布置於吊頂天花。這個方案適（shì）用於對室內溫濕度精度要（yào）求不高的無塵車間。
優點（diǎn）：
A.不需要占用（yòng）機房麵積，布置很靈活的;
B.可以滿足空氣的潔（jié）淨度;
C.造價最低。如此類無塵車間初投（tóu）資（zī）約需要40萬;
D.送風均勻度好。
缺點（diǎn）：
A.溫濕度控製較差;
B.可以滿足空（kōng）氣的潔淨度;
C.FFU的維（wéi）修頻率高。
4、光學微（wēi）電子行業淨化工程設計方案分析之無（wú）塵車間的特點
A、無塵車間

潔淨度:
LCD製屏的簡略流（liú）程為：清洗（xǐ）→印刷取向膜→磨擦→密（mì）封印刷層散布隔墊物→組合→劃線和切割→LC注入→貼偏（piān）振片→製屏終檢。
在本設計裏是指末端工藝的一些無塵車間，其淨化潔淨度一般為（wéi）千級或萬級（jí）或十萬級。背光（guāng）屏類無（wú）塵車間（jiān）主要是這類產（chǎn）品的（de）衝壓車間、組裝等無塵車間，其潔淨度（dù）一般為萬級或十萬（wàn）級。
B、室內（nèi）空氣參數要求（qiú） ：
(1)溫濕（shī）度（dù）要求：溫度一般為24+2℃，相對濕度為55+5%。
(2)新風量大。由於這類車間內，人員比較多，可以根據以下數值應取下列（liè）的最大（dà）值：非單向流潔淨室總送風（fēng）量的10-30%;補償室內排風和保持室內正壓值所需的新鮮空氣量;保證室內每人每小時（shí）的新（xīn）鮮 空氣量≥40m3/h。
(3)送風（fēng）量大。為了滿足潔淨室內的潔淨度及熱濕平衡，需要較大的送風量（liàng），就300平方（fāng）米的車（chē）間，吊頂高度（dù）為2.5米的，如（rú）果是萬（wàn）級（jí），送風量就需要300×2.5×30=22500m3/h的送風量（liàng）(換（huàn）氣次（cì）數，是≥25次/h);如果是十萬級，送風量就需要300×2.5×20=15000m3/h的送風量(換氣次數，是≥15次/h)。
光學微電子行業淨化工（gōng）程（chéng）設計方案分析
對於常規電（diàn）子廠房潔淨室空調的設計，應根據電子廠房的生產工藝（yì）要求及甲方的經濟條件來選用哪種空調（diào）設計方案，以滿足生產（chǎn）工藝（yì）的要求（qiú）作為前（qián）提。根據以往經驗，對於要求高的可以選用組合式空（kōng）氣處理機組集中處理的空調方案;對於要求不高的，又要初投資低（dī）的，可以選用櫃機+FFU。總之，具體的方案選擇（zé）根據具體情況而定。
淨化工程中空氣淨（jìng）化處理方案
●淨化工程中各級空氣潔淨度的空氣淨化處理（lǐ），均應采用（yòng）初效、中效、高效空氣過濾器三級過濾。100000級空氣淨化處理（lǐ），可（kě）采用亞高（gāo）效空氣過濾器代高效空氣過（guò）濾器。
●空氣過濾器（qì）的選用布置（zhì）和（hé）安裝方式，應符合：初效空氣過濾器不（bú）應選（xuǎn）用浸油式過濾器；中效空氣過濾器（qì）宜集（jí）中設置在淨化空氣調節係統的正壓段；高效空氣過濾器（qì）或亞高效空氣過濾器宜設置在淨化（huà）空氣調節係統末端，高效空氣過濾的安裝方（fāng）式應簡便可靠，宜檢漏和更換；中效、亞高效、高效空氣過濾器宜按（àn）額定風量選用；阻力、效率相近的（de）高效空氣過濾器宜（yí）設置在同一淨化車間內。
●確定集中或分散式淨化空氣調節係統時，應綜合考慮生產工藝的特點和淨化車間空氣（qì）的潔淨度等級、麵積、位置等因素。凡生產工藝連續、無塵室或淨化車間麵積（jī）較大時，位置（zhì）集中以（yǐ）及噪（zào）聲（shēng）控（kòng）製（zhì）和振動控製要（yào）求（qiú）嚴格的潔淨室，宜采用集（jí）中式淨化空氣調節係統。
●淨化空氣調節係統如需電加熱時（shí），應選用管狀電加熱器，位置應布置在（zài）高效空氣過濾器的上風側，並（bìng）應有防火安全措施。
●送風機可（kě）按（àn）淨化空氣調節係統的總送風量和總（zǒng）阻力值（zhí）進行選擇（zé），中效、高效（xiào）空氣過濾器的阻力宜按其（qí）初阻力的（de）兩倍計（jì）算。
●淨化工程中淨（jìng）化空氣調節係統除直流式係統和設（shè）置值班風機的係統外，應采取防止室外汙染空氣通過新風口參入淨化車間內的防灌倒措施（shī）。
●淨化空（kōng）氣調節係統設計應合理利用回風，凡工藝過程（chéng）產生大量有害物質且局部處理不能滿足衛生（shēng）要求，或（huò）對其他工序有危害時，則不應用回風。