半導體（tǐ）無塵車間工程

      無塵車間工程根據潔淨（jìng）度（dù）不同可以分為100級、1000級（jí）、10000級和100000級等。而半導體電子潔淨（jìng）車間的潔淨度要求按照每一立方米空氣中含有的0.5微米塵粒（lì）數計（jì）算，一般是在10萬級標（biāo）準以上。半導體電子無塵室工程中，想要控製（zhì）小（xiǎo）粒徑粉塵的擴散，就需要用到過濾器。一般而言，無塵（chén）車間的運行中風速越低，過（guò）濾器（qì）的使用效（xiào）果越好。

在無塵車間工程中，風速越低小（xiǎo）粒徑粉塵的（de）擴散作用就明顯，這主要是因為（wéi）潔（jié）淨車間中風速越低，氣流在過（guò）濾材料中所需要滯留（liú）的時間就會越長，粉塵對周邊（biān）障礙（ài）物的撞擊越（yuè）明顯，過濾效率自然也就就高。在大多數情況下，如果無（wú）塵車間工（gōng）程使用的是（shì）高（gāo）效過濾器，風速一旦減少（shǎo）一（yī）半，粉（fěn）塵的透過率會降低近一個（gè）數（shù）量級，風速（sù）增加一倍，透過率（lǜ）會增（zēng）加一個數量級。小粒徑粉塵的（de）擴散中，風速高，阻力就大，如果（guǒ）過濾器的使用壽（shòu）命（mìng）以終阻（zǔ）力為依據，風速高，過濾器的使用壽命就短。

半導體電子無塵車間工程中，與小粒徑（jìng）粉塵的（de）擴散的效（xiào）果類似，如果過濾（lǜ）材料帶靜電，粉塵在濾材中滯留的時（shí）間越長，被材料吸附的可能性就越大。當半導體電子潔淨車間（jiān）的（de）風速發生改變時（shí），帶靜電（diàn）材（cái）料的過濾（lǜ）效果就會得到明顯的改變。所以在進行無塵室工程設計時，如果材料上有（yǒu）靜電（diàn），在（zài）進行空調係（xì）統設計時就要盡可能地減少通過每隻（zhī）過濾器的風量。對於以（yǐ）慣性機理為主的（de）大顆粒粉塵，根據傳統（tǒng）理論，風速降低後，粉（fěn）塵與纖維碰撞的幾率會減少，過濾（lǜ）效率會隨之降（jiàng）低。但在實踐中這種影響並不明顯，因為風速小了（le），纖維對粉塵的反（fǎn）彈力也小了，粉塵更容（róng）易被粘（zhān）住。